T/ICMTIA 4.2-2020标准基本信息
标准名称：集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
标准编号：T/ICMTIA 4.2—2020
英文标题：ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 2: Solid methacrylate
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：G30
国民经济分类：C266 专用化学产品制造
发布日期：2020年12月31日
实施日期：2021年03月01日
起草人：傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影
起草单位：徐州博康信息化学品有限公司
范围：本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
T/ICMTIA 4.2-2020预览图：
