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T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/CNIA 0060-2020标准基本信息

标准名称:多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

标准编号:T/CNIA 0060—2020

国际标准分类号:77.040.01金属材料试验综合

国民经济分类:C356 电子和电工机械专用设备制造

发布日期:2020年05月27日

实施日期:2020年08月01日

起草人:刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明

起草单位:宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司

T/CNIA 0060-2020预览图:

T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定  气相色谱法

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