T/CEMIA 024-2021标准基本信息
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
标准编号：T/CEMIA 024—2021
英文标题：Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
国际标准分类号：31-030
中国标准分类号：L 90电子设备与专用材料、零件、结构件
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2021年07月15日
实施日期：2021年12月25日
起草人：陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
起草单位：锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司、宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司、常州裕能石英科技有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、江苏中天科技股份有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司、湖南黎辉新材料科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司。
范围：本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。
T/CEMIA 024-2021预览图：
