T/JSQA 127-2022标准基本信息
标准名称：光刻机用超高压短弧曝光光源
标准编号：T/JSQA 127—2022
英文标题：Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source
国际标准分类号：29.140.30荧光灯、放电灯
中国标准分类号：K 71
国民经济分类：C387 照明器具制造
发布日期：2022年03月03日
实施日期：2022年03月03日
起草人：徐琴玉、殷尧平、李臻、陈海东、吴永强、杨宇华、李鑫、王燕
起草单位：常州玉宇电光器件有限公司、常州检验检测标准认证研究院、深圳市合丰嘉大科技有限公司、杭州汉光照明有限公司
范围：本文件规定了光刻机用超高压短弧曝光光源的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于光刻机用超高压短弧曝光光源，其他相应类型的超高压短弧曝光光源也可参照执行。