T/NXCL 015-2022标准基本信息
标准名称：硅部件用柱状多晶硅
标准编号：T/NXCL 015—2022
英文标题：Columnar polysilicon for silicon parts
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2022年12月02日
实施日期：2022年12月02日
起草人：李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦
起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院
T/NXCL 015-2022预览图：
