T/NXCL 30-2024标准基本信息
标准名称:300 mm低氧含量直拉硅单晶
标准编号:T/NXCL 30—2024
英文标题:300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon
国际标准分类号:29.045
国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期:2024年02月06日
实施日期:2024年02月06日
起草人:芮阳、商润龙、王黎光、杨少林、陈亚、赵泽慧、白圆、马成、曹启刚、王忠保、熊欢、李聪、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺
起草单位:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司
T/NXCL 30-2024预览图: