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T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/NXCL 28-2024标准基本信息

标准名称:半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

标准编号:T/NXCL 28—2024

英文标题:Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2024年02月06日

实施日期:2024年02月06日

起草人:李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春

起草单位:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司

T/NXCL 28-2024预览图:

T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

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