T/SICA 006-2024标准基本信息
标准名称：集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
标准编号：T/SICA 006—2024
英文标题：General technical requirements for overhead hoist transfer system used in integrated circuit wafer factory
国际标准分类号：53.040.01连续搬运设备综合
中国标准分类号：CCS J 70
国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造
发布日期：2024年06月07日
实施日期：2024年07月07日
起草人：缪峰、李宏伟、张奕人、陈力钧、桂纯钦、张正敏、江志豪、邱晓凯、吴茹茹、宋闫岩、石建宾、刘威、吕志鹏、胡锦敏、吴炳男、杨海军、张鑫昕、肖柯、刘国华
起草单位：弥费科技（上海）股份有限公司、上海市集成电路行业协会、上海华力集成电路制造有限公司、上海市质量和标准化研究院、广东芯粤能半导体有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、重庆前卫无线电能传输研究院有限公司、武汉大学、华中科技大学、深圳赫兹创新技术有限公司、欧姆龙自动化（中国）有限公司、合肥欣奕华智能机器股份有限公司、成川科技（苏州）有限公司、上扬软件（上海）有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公司
T/SICA 006-2024预览图：
