T/QGCML 4572-2024标准基本信息
标准名称：高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
标准编号：T/QGCML 4572—2024
国际标准分类号：31.020
国民经济分类：C397 电子器件制造
发布日期：2024年08月12日
实施日期：2024年08月27日
起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。
起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。
T/QGCML 4572-2024预览图：
T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
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