标准名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
标准编号：T/WHQASA 12—2024
英文标题：lower heating susceptor products of 10.5G chemical vapor deposition equipment
国际标准分类号：71.120.99其他化工设备
中国标准分类号：G92
国民经济分类：C352 化工、木材、非金属加工专用设备制造
发布日期：2024年12月30日
实施日期：2024年12月30日
起草人：司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽
起草单位：芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。
范围：本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。
T/WHQASA 12-2024预览图：
