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GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

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硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范（GB/T 28276-2012）

本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

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