GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

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电子级水中微粒的仪器测试方法（GB/T 11446.9-2013）

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05 μm，微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。