GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

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MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法（GB/T 33922-2017）

本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片)的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。