GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

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微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法（GB/T 34893-2017）

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1∶10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。