GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法（GB/T 37051-2018）

本标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法，包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。本标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。