当前位置：首页 > 实用文档 > 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

下载格式：pdf资源分类：实用文档

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型（GB/T 37959-2019）

本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

声明：资源收集自用户分享或网络，仅为个人学习参考使用，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

不能下载？报告错误

翻页：GB/T 36971-2018 纺织品色牢度试验织物染料向聚氯乙烯涂层迁移的评定

相关内容

GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

资源已经过安全检测，请放心下载！

免费下载

收藏报错

热门标签