GB/T 36176-2018 真空技术氦质谱真空检漏方法

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真空技术氦质谱真空检漏方法（GB/T 36176-2018）

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。