GB/T 30544.8-2019 纳米科技术语第8部分纳米制造过程

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纳米科技术语第8部分纳米制造过程（GB/T 30544.8-2019）

GB/T 30544的本部分界定了在纳米技术领域与纳米制造过程相关的术语和定义。本部分中的术语适用于纳米制造及其制造过程，但不限于纳米尺度。本部分不包括与纳米制造相关的工具、组件、材料、系统控制方法和计量方法等名称术语。