GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分碳化硅单晶生长装置

下载格式：pdf资源分类：实用文档

电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分碳化硅单晶生长装置（GB/T 10067.417-2023）

此标准规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。此标准适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。此标准适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。