DB53/T 501-2013标准基本信息
标准名称：多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
标准号：DB53/T 501-2013
发布日期：2013-08-01
实施日期： 2013-10-01
制修订：制定
中国标准分类：G 10
国际标准分类：71.040.40
技术归口：云南省质量技术监督局
批准发布部门：云南省质量技术监督局
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司
起草人：赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月
本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。