GB/T 15861-1995标准基本信息
标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
标准号：GB/T 15861-1995
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
被代替日期：2013-02-15
中国标准分类：L97
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
电子部长沙半导体工艺设备所。
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