GB/T 17169-1997标准基本信息
标准名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
标准号：GB/T 17169-1997
发布日期：1997-12-22
实施日期：1998-08-01
废止日期：2004-10-14
中国标准分类：H24
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
南开大学、天津市半导体材料厂。
GB/T 17169-1997预览图：
