GB/T 1558-1997标准基本信息
标准名称:硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
标准号:GB/T 1558-1997
发布日期:1997-12-22
实施日期:1998-08-01
被代替日期:2010-06-01
中国标准分类:H21
国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
峨嵋半导体材料厂。
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