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GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 18994-2003标准基本信息

标准名称:电子工业用气体 高纯氯

标准号:GB/T 18994-2003

发布日期:2003-03-05

实施日期:2003-08-01

被代替日期:2015-07-01

中国标准分类:G86

国际标准分类:71 化工技术,71.100 化工产品,71.100.20 工业气体

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

光明化工研究设计院。

GB/T 18994-2003预览图:

GB/T 18994-2003 电子工业用气体  高纯氯

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