GB/T 12964-2003标准基本信息
标准名称：硅单晶抛光片
标准号：GB/T 12964-2003
发布日期：2003-06-16
实施日期：2004-01-01
被代替日期：2019-06-02
全部代替标准：GB/T 12964-1996
中国标准分类：H82
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
北京有色金属研究总院。
GB/T 12964-2003预览图：
