GB/T 20175-2006标准基本信息
标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
标准号：GB/T 20175-2006
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
中国标准分类：N33
国际标准分类：71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
清华大学电子工程系。
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