GB/T 32280-2022标准基本信息
标准名称：硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
标准号：GB/T 32280-2022
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
全部代替标准：GB/T 32280-2015
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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GB/T 32280-2022预览图：
