GB/T 42158-2023标准基本信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
标准号：GB/T 42158-2023
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-07-01
标准类别：基础
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。
主要起草人 张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。
GB/T 42158-2023预览图：
