GB/T 30652-2023标准基本信息
标准名称：硅外延用三氯氢硅
标准号：GB/T 30652-2023
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
全部代替标准：GB/T 30652-2014
标准类别：产品
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、上海亿钶气体有限公司、南京国盛电子有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、武汉新硅科技潜江有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、昊华气体有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、青海中航硅材料有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、江西晨光新材料股份有限公司。
主要起草人 万烨 、赵雄 、严大洲 、刘见华 、张园园 、李素青 、李建新 、李飞明 、冯永平 、孙任靖 、张斌 、顾广安 、于生海 、邓远红 、徐岩 、李楷东 、刘文明 、李明达 、付梦月 、邱艳梅 、边红利 、史隽涛 、梁秋鸿 。
GB/T 30652-2023预览图：
