T/CNIA 0061-2020标准基本信息
标准名称：硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准编号：T/CNIA 0061—2020
国际标准分类号：77.040.01金属材料试验综合
国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造
发布日期：2020年05月27日
实施日期：2020年08月01日
起草人：严大洲、万烨、赵雄、楚东旭、刘凤华、蔡延国、邱艳梅、赵娟龙
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司
T/CNIA 0061-2020预览图：
