GB/T 26066-2010标准基本信息
标准名称：硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
标准号：GB/T 26066-2010
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
洛阳单晶硅有限责任公司。
GB/T 26066-2010预览图：
