GB/T 14847-2010标准基本信息
标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准号：GB/T 14847-2010
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
全部代替标准：GB/T 14847-1993
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
宁波立立电子股份有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。
GB/T 14847-2010预览图：
