GB/T 26111-2010标准基本信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
标准号：GB/T 26111-2010
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类：L55
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。
GB/T 26111-2010预览图：
