GB/T 15861-2012标准基本信息
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
标准号：GB/T 15861-2012
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
全部代替标准：GB/T 15861-1995
中国标准分类：L97
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
中国电子科技集团公司第四十八研究所。
GB/T 15861-2012预览图：
