GB/T 30857-2014标准基本信息
标准名称:蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
标准号:GB/T 30857-2014
发布日期:2014-07-24
实施日期:2015-04-01
中国标准分类:H21
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
GB/T 30857-2014预览图: