GB/T 31225-2014标准基本信息
标准名称：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
标准号：GB/T 31225-2014
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
中国标准分类：J04
国际标准分类：17 计量学和测量、物理现象，17.040 长度和角度测量，17.040.01 长度和角度测量综合
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
GB/T 31225-2014预览图：
