GB/T 31351-2014标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
标准号：GB/T 31351-2014
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类：H26
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验，77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
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