GB/T 13389-2014标准基本信息
标准名称：掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
标准号：GB/T 13389-2014
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
全部代替标准：GB/T 13389-1992
中国标准分类：H80
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
有研半导体材料股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司。
GB/T 13389-2014预览图：
