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GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

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GB/T 31987-2015标准基本信息

标准名称:电子工业用气体 锗烷

标准号:GB/T 31987-2015

发布日期:2015-09-11

实施日期:2016-05-01

中国标准分类:G86

国际标准分类:71 化工技术,71.100 化工产品,71.100.20 工业气体

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院。

GB/T 31987-2015预览图:

GB/T 31987-2015 电子工业用气体  锗烷

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