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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

下载格式:pdf标准分类:国家标准
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GB/T 32652-2016标准基本信息

标准名称:多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

标准号:GB/T 32652-2016

发布日期:2016-04-25

实施日期:2016-11-01

中国标准分类:L90

国际标准分类:31 电子学,31.030 电子技术专用材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。

GB/T 32652-2016预览图:

GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

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