GB/T 32816-2016标准基本信息
标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
标准号：GB/T 32816-2016
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
中国标准分类：L55
国际标准分类：31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。
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