GB/T 34504-2017标准基本信息
标准名称:蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
标准号:GB/T 34504-2017
发布日期:2017-10-14
实施日期:2018-05-01
中国标准分类:H17
国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
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