GB/T 31352-2014标准基本信息
标准名称：蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
标准号：GB/T 31352-2014
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类：H21
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验，77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。
GB/T 31352-2014预览图：
