GB/T 34971-2017标准基本信息
标准名称：半导体制造用气体处理指南
标准号：GB/T 34971-2017
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。
GB/T 34971-2017预览图：
