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GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 19921-2018标准基本信息

标准名称:硅抛光片表面颗粒测试方法

标准号:GB/T 19921-2018

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-07-01

全部代替标准:GB/T 19921-2005

中国标准分类:H21

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。

GB/T 19921-2018预览图:

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

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