GB/T 37466-2019标准基本信息
标准名称：氮化镓激光剥离设备
标准号：GB/T 37466-2019
发布日期：2019-06-04
实施日期：2019-10-01
中国标准分类：L95
国际标准分类：31 电子学，31.550 电子产品生产设备
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
GB/T 37466-2019预览图：
