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GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 40109-2021标准基本信息

标准名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

标准号:GB/T 40109-2021

发布日期:2021-05-21

实施日期:2021-12-01

中国标准分类:G04

国际标准分类:71 化工技术,71.040 分析化学,71.040.40 化学分析

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中国电子科技集团公司第四十六研究所。

GB/T 40109-2021预览图:

GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

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