GB/T 41064-2021标准基本信息
标准名称：表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
标准号：GB/T 41064-2021
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
中国标准分类：G04
国际标准分类：71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
清华大学、中国石油大学（北京）。
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