GB/T 40110-2021标准基本信息
标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
标准号：GB/T 40110-2021
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
中国标准分类：G04
国际标准分类：71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国计量科学研究院、华南理工大学。
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