GB/T 14142-1993标准基本信息
标准名称：硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
标准号：GB/T 14142-1993
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
被代替日期：2018-04-01
中国标准分类：H26
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
峨眉半导体材料研究所。
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